| Period Ending: |
2025
(Q4)
12-31 |
2025
(Q2)
06-30 |
2025
(Q1)
03-31 |
2024
(Q4)
12-31 |
2024
(Q3)
09-30 |
2024
(Q2)
06-30 |
2024
(Q1)
03-31 |
2023
(Q4)
12-31 |
2023
(Q3)
09-30 |
2023
(Q2)
06-30 |
2023
(Q1)
03-31 |
2022
(Q4)
12-31 |
2022
(Q3)
09-30 |
2022
(Q2)
06-30 |
2022
(Q1)
03-31 |
2021
(Q4)
12-31 |
2021
(Q3)
09-30 |
2021
(Q2)
06-30 |
2021
(Q1)
03-31 |
2020
(Q4)
12-31 |
2020
(Q3)
09-30 |
2020
(Q2)
06-30 |
2020
(Q1)
03-31 |
2019
(Q4)
12-31 |
2019
(Q3)
09-30 |
2019
(Q2)
06-30 |
2019
(Q1)
03-31 |
2018
(Q4)
12-31 |
2018
(Q3)
09-30 |
2018
(Q2)
06-30 |
2018
(Q1)
03-31 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Total |
1234
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| Aftermarket |
1234
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| Aftermarket (%) |
1234
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| Systems |
1234
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| Systems (%) |
1234
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| Product |
1234
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| Product (%) |
1234
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| Services |
1234
|
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| Services (%) |
1234
|
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| Cs I Or Aftermarket |
1234
|
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| Cs I Or Aftermarket (%) |
1234
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| New Systems Revenue |
1234
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| New Systems Revenue (%) |
1234
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| After Market |
1234
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| After Market (%) |
1234
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| Ion Implant |
1234
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| Ion Implant (%) |
1234
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| Ion Implantation Systems Services And Royalties |
1234
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| Ion Implantation Systems Services And Royalties (%) |
1234
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